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項(xiàng)目/Item
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物性/Property
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單位/Unit
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ZKPI-5500L
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ZKPI-5500M
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應(yīng)用/Application
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正性、應(yīng)力緩沖、半導(dǎo)體封裝
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正性、應(yīng)力緩沖、半導(dǎo)體封裝
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液體性質(zhì)
Liquid Property |
固含量/Solid Content
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wt.%
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35-37
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37-39
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黏度/Viscosity
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mPa•s/CP
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800-1000
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1400-1600
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離子含量/Impurity Content
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ppm
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<10
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<10
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固化后膜厚/ Film thickness
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um
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1-3
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3-6
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膜性質(zhì)
Film Property |
拉伸強(qiáng)度 / tensile strength
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MPa
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＞140
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＞140
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Tg/glass transition temperature
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℃
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＞290
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＞290
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斷裂伸長(zhǎng)率/Elongation at break
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%
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＞15
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＞15
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模量/Modulus
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GPa
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＞3.0
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＞3.0
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熱膨脹系數(shù)/thermal expansioncoefficient
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ppm/℃
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＜35
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＜35
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介電常數(shù)（1MHZ）/dielectric constant
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＜3.2
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＜3.2
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表面電阻（50v）/Surface Resistance
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Ω
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＞1016
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＞1016
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體積電阻率（50v）/Resistivity
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Ω•cm
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＞1016
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＞1016
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吸水率/Water absorption
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%
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＜0.6
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＜0.6
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介電強(qiáng)度/
Dielectric strength
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KV/mm
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25
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25
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產(chǎn)品特點(diǎn)
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1）適用于i線或/和g線；
2）2.38wt%TMAH（四甲基氫氧化銨）作為顯影劑；
3）顯影后，良好的膜厚保持率（92%以上）；
4）高解析度（膜厚7μm、解析度3μm）；
5）對(duì)多種基材和模壓材料具有良好的粘附性；
6）良好的耐等離子刻蝕。
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